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日本/Magnescale光柵尺直線編碼器 最大分辨率：0.05µm 精度 (20℃時)：(3+3L/1,000) µm p-p，(5+5L/1,000) µm p-p［L：測量范圍］ 測量范圍 (L)：140 ～ 3,040mm 響應速度：50m/min (分辨率0.1µm，最小相位差：50ns時) 輸出信號A/B相(脈沖)，原點線驅動器信號 符合EIA-422

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