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日本RION理音KS-41B液體粒子計(jì)數(shù)器

更新時(shí)間：2025-04-08

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光刻膠溶液和 SOG 中的顆粒可以在 0.1 μm 范圍內(nèi)測(cè)量

可連接到多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)

規(guī)范

光學(xué)系統(tǒng)方式	橫向散射法
光源	用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長(zhǎng) 532 nm，額定功率 500 mW）
接液部件材料	合成石英，PFA
粒度分類	0.1 μm ~ 0.5 μm 范圍內(nèi)的 10 個(gè)級(jí)別（可選 0.07 μm，用于純水等透明液體）運(yùn)輸：0.1 μm 或更高、0.15 μm 或更高、0.2 μm 或更高、0.3 5 個(gè) ≥ μm 和 ≥ 0.5 μm 的水平
額定流量	5 毫升/分鐘
最大顆粒計(jì)數(shù)濃度	9,600 單位/mL（計(jì)數(shù)丟失在 10% 以內(nèi)）
權(quán)力	DC12 V（由 KE-40B1 供電）
大小	約 164 毫米（水平）× 464 毫米（寬）× 305 毫米（深）毫米（不包括突出部分）
重量	約 12.5 kg

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